제6회 차세대조명기술 전시회 안내
동경 빅 사이트에서 개최된 제6회 차세대조명기술 전시회 (개최일자:01월 15일～17일)은, 성황리에 무사히 종료했습니다.
바쁘신 중에도 불구하고, 당사 부스를 방문해 주신분께 이 자리를 빌어 깊이 감사의 말씀을 드립니다.
회기: 2014년 01월 15일～17일
회장: 동경 빅 사이트(BIG SIGHT)
폐사 부스 번호: 동쪽 46-4
Date:2014/01/16
출전제품안내
웨이퍼 반송 로봇/웨이퍼 얼라이너:
STCR4160SN-300-PM (신형 제품)/SAL3481HV (신형 제품)
저가격, 고속 반송, 탈조가 없도록 실현한 신형 트윈 암 로봇.
각종 웨이퍼 재질에 대응한 신형 얼라이너.
탁상용 로더시스템:
SSY-10000
2, 3 인치, 100 mm글라스, 사파이어, SiC, GaN, 등의 웨이퍼에 대응.
웨이퍼 반송 로봇/베르누이 얼라이너:
STCR4160SN-300-PM (신형 제품)/SAL3481
저가격, 고속 반송, 탈조가 없도록 실현한 신형 트윈 암 로봇.
・웨이퍼 외주 5 mm흡착 척:
랜덤 억세스가 가능
・박형 베르누이 척(특허 출원중):
휘어진 상태 웨이퍼, 얇은 웨이퍼를 카셋트 슬롯으로부터 랜덤 억세스 가능.
휨, 얇은 웨이퍼 대응 베르누이 척, 베르누이 핀셋:
베르누이 핀셋: BRP-01
Low cost & 고객사양 설계의 베르누이 척.