반송 소개 동영상

•  Closed-loop제어
• 300mm SORTER SYSTEM (4-port inline type)
• 2인치 반송 시스템
• 웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템
• 방수용
• 매핑 동작(투과형 매핑)
• 테이프 프레임 반송
• 크로즈드 루프 제어 유사다축 사양 (Path Planning Handling)
• 사셉터/트레이 반송
• 여러가지 웨이퍼 대응 얼라이너
• 베르누이 척 반송
• 마이크로 플레이트/배양접시 반송