홈 > 제품 정보 > 반송 소개 동영상 > 2인치 반송 시스템 반송 소개 동영상 2인치 반송 시스템 반송부, 진공 트랜스퍼 챔버의 소형화에 기여합니다. 업계 최소 클래스, 장치의 소형화가 가능. TSCR3060N (2인치대응 대기 크린 로봇)상사 표준비 대기로봇: 풋 프린트 75%（□115x130mm）, 용적비 80% 다운 TSVCR3060N (2인치대응 진공 크린 로봇)당사 표준비 진공로봇：풋프린트 65%（φ95mm）, 용적비 75%다운 SAL1021 (2인치대응 대기 얼라이너)당사 표준비 대기 얼라이너: 풋프린트 80%（□85x100mm）, 용적비 80% 다운 반송 동영상 일람 이전 동영상 다음 동영상
