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반송 소개 동영상

웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템

SSY-11010 (웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템):
웨이퍼 컨테이너, 카셋트 내의 박막 웨이퍼를 고정밀도로 자동반송 합니다.
웨이퍼 컨테이너 뚜껑이 자동 개폐 기구 탑재(특허 출원 중).

  • 웨이퍼 컨테이너에 있는 웨이퍼와 컨테이너 스페이서(층 간지)를 자동 식별
  • 패키지, 언패키지 모두 1대로 대응 가능 합니다
  • 웨이퍼 컨테이너,카셋트 사이의 손상 없이 자동이재


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