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시스템

SSY-11010웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템

SSY-11010 Automatic wafer transfer system for wafer container

　

데모

환경/사양

피반송물

모델 명	SSY-11010
사용유체	크린룸 대기
대응 카셋트	200 mm 카셋트 200 mm 웨이퍼 컨테이너
피반송 사이즈	200 mm
피반송물	실리콘 웨이퍼, 스페이서
피반송물	워크사이즈, 웨이퍼 컨테이너 수, 얼라이너 부착등, 각종 대응을 합니다. 웨이퍼 컨테이너는 각각의 회사에 대응 하겠습니다.자세한 것은 문의해 주십시오.

화상, 동영상은 SSY-11010(*).

(*) 본 시스템의 자세한 내용은 반송 소개 동영상 에서도 확인해 주세요.

제품특징

웨이퍼 컨테이너, 카셋트 내의 박막 웨이퍼를 고정밀도로 자동반송 합니다.
웨이퍼 컨테이너 뚜껑이 자동 개폐 기구 탑재(특허 출원 중).

웨이퍼 컨테이너에 있는 웨이퍼와 컨테이너 스페이서(층 간지)를 자동 식별
패키지, 언패키지 모두 1대로 대응 가능 합니다
웨이퍼 컨테이너,카셋트 사이의 손상 없이 자동이재
베르누이 척을 탑재하여, 박막 웨이퍼도 대응
워크의 높이도 자동인식
복수 카셋트 및 각 인치 사이즈에도 고객사양에 대응
Achilles Corporation 제품 웨이퍼 컨테이너 대응
파인 필터 유니트(HEPA 사양)를 2개 배치하여, 클린도를 확보
컬러 센서 탑재로, 색이 다른 컨테이너 스페이서(층 간지)도 검출 가능

표준사양

워크사이즈, 웨이퍼 컨테이너 수, 얼라이너 부착등, 각종 대응을 합니다.
사양에 대해서는 문의 바랍니다.
피반송물	200 mm 실리콘 웨이퍼, 200 mm 스페이서
대응 카셋트	200 mm 카셋트, 200 mm 웨이퍼 컨테이너
클린도	ISO Class 2
외형치수	1600 (W) x 1305 (D) x 1800 (H)
대응 카셋트	전원: AC200V±10% 크린에어: 0.5 MPa 150 NL/min 이상
질량	700 kg

외관도(표준형식)

가이드

...대기
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...싱글 암
...트윈 암
...얇은 웨이퍼
...CE 마킹
...JEL표준
...KCs 마킹