얇은 웨이퍼등을 베르누이 보관 유지할 수 있는 경량, 컴팩트한 핀셋입니다.
흡착 보관 유지는 아니기 때문에, 웨이퍼 파손 리스크를 최소한으로 할 수 있습니다.
선단부가 플렉시블하게 움직이는 것으로 수평은 물론, 웨이퍼 케이스나 웨이퍼 카셋트로부터의 취출・수납이 가능합니다.
또, 웨이퍼 뿐만 아니라, 여러가지 특수 제품에 대응이 가능합니다.
사이클론 효과에 의해 제품을 흡착하지 않고 보관 유지 가능
제품과의 접촉은 패드(재질: 불소 고무)에 의해 실시해, 보관 유지시의 제품 충격 완화, 또 보관 유지 가이드 불필요
플렉시블 튜브의 채용에 의해, 작업자의 임의의 각도에 조정 가능
표준사양
피반송물
2,3인치, 100～150mm 웨이퍼
재질
알루미늄(선단부)
표면 처리
사이클론 패드: 흑색 아르마이트 그 외; 선단부: 흰색 아르마이트
Wafer유지
사이클론 패드에 의한 흡입과 불소 고무에 의한 보관 유지
허용반송 질량
50g 이하
사용유체
클린에어, N2
공급압력
0.3MPa 이하(본체 접속부에서)
에어 유량
15L/min
질량
110g
릴리스 스윗치의 접동부에의 유지 미사용
사이클론 패드 표준 배치 수량: 1개
패드(재질: 불소 고무)에 의한 접촉 보관 유지
설치 브라켓 120도 타입(표준 출하 형상), 90도 타입(부속)
기타 자세한 사양은 문의 부탁 합니다.
압력-유지력관계도
플렉시블 튜브 동작 범위
형식
수평설치, 웨이퍼 케이스 에 적절한 선단 유닛이 짧은 타입의 BRP-01과, 수평장착 카셋트 에 적절한 선단 유닛이 긴 타입의 BRP-02의 2 종류가 있습니다.
