베르누이 핀셋
데모
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환경/사양
피반송물
| 제품명 |
베르누이 핀셋 |
| 피반송물 |
2, 3인치, 100～150mm (*) |
| *200mm,300mm용 별도 대응가능 |
| 사양에 대해서는 문의하여 주십시오. |
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제품특징
얇은 웨이퍼등을 베르누이 보관 유지할 수 있는 경량, 컴팩트한 핀셋입니다.
흡착 보관 유지는 아니기 때문에, 웨이퍼 파손 리스크를 최소한으로 할 수 있습니다.
선단부가 플렉시블하게 움직이는 것으로 수평은 물론, 웨이퍼 케이스나 웨이퍼 카셋트로부터의 취출・수납이 가능합니다.
또, 웨이퍼 뿐만 아니라, 여러가지 특수 제품에 대응이 가능합니다.
- 사이클론 효과에 의해 제품을 흡착하지 않고 보관 유지 가능
- 제품과의 접촉은 패드(재질: 불소 고무)에 의해 실시해, 보관 유지시의 제품 충격 완화, 또 보관 유지 가이드 불필요
- 플렉시블 튜브의 채용에 의해, 작업자의 임의의 각도에 조정 가능
표준사양
| 피반송물 |
2,3인치, 100～150mm 웨이퍼 |
| 재질 |
알루미늄(선단부) |
| 표면 처리 |
사이클론 패드: 흑색 아르마이트 그 외; 선단부: 흰색 아르마이트 |
| Wafer유지 |
사이클론 패드에 의한 흡입과 불소 고무에 의한 보관 유지 |
| 허용반송 질량 |
50g 이하 |
| 사용유체 |
클린에어, N2 |
| 공급압력 |
0.3MPa 이하(본체 접속부에서) |
| 에어 유량 |
15L/min |
| 질량 |
110g |
- 릴리스 스윗치의 접동부에의 유지 미사용
- 사이클론 패드 표준 배치 수량: 1개
- 패드(재질: 불소 고무)에 의한 접촉 보관 유지
- 설치 브라켓 120도 타입(표준 출하 형상), 90도 타입(부속)
기타 자세한 사양은 문의 부탁 합니다.
압력-유지력관계도
플렉시블 튜브 동작 범위
형식
수평설치, 웨이퍼 케이스 에 적절한 선단 유닛이 짧은 타입의 BRP-01과, 수평장착 카셋트 에 적절한 선단 유닛이 긴 타입의 BRP-02의 2 종류가 있습니다.
| BRP-01(선단 유닛 단) |
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| BRP-02(선단 유닛 장) |
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제품 일람
