반송 소개 동영상
사셉터/트레이 반송
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STCR4160S (사셉터/트레이 반송)： LED등의 처리장치로 사용되는 사셉터・트레이의 반송을 할 수 있습니다. 시스템의 SSY-10020으로 결합하여, 카셋트에서 웨이퍼가 공급된 사셉터・트레이를 장치에 자동으로반송합니다. *진공 로봇에도 대응합니다: SVCR3330S (사셉터/트레이 반송). |
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STCR4160S (사셉터/트레이 반송)： LED등의 처리장치로 사용되는 사셉터・트레이의 반송을 할 수 있습니다. 시스템의 SSY-10020으로 결합하여, 카셋트에서 웨이퍼가 공급된 사셉터・트레이를 장치에 자동으로반송합니다. *진공 로봇에도 대응합니다: SVCR3330S (사셉터/트레이 반송). |
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