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반도체용 로봇

SVCR3330S（사셉터・트레이반송사양）3축원통 좌표형 크린 로봇

SVCR3330S-060-PM

데모

환경/사양

피반송물

모델 명	SVCR3330S
사용유체	크린룸 진공
암	싱글 암
도달거리	640mm (제 3관절 중심거리)
승강 거리	60mm
가반 질량	10kg以下 (제 3관절 환산)

제품형식 리스트

제품형식		승강 거리
SVCR3330S-060-PM		60mm

사진과 데모은SVCR3330S-060-PM

제품특징

암 관절부에는 자성 유체 실 설치
진공 실 : 자성 유체 실 및 벨로스 사용
클린 대책 : 암 내 배기용에 5µm 메시필터 설치
동작 모니터 장비
제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
전축 2상 펄스 모터 사용
S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
2상 펄스 모터 사양도 선택 가능
척 재질은 CFRP, 알루미늄, 세라믹 등 각종 재질 사용 가능
웨이퍼 유지:암 관절부에는 자성 유체 실 사용
피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능

표준사양

은 SVCR3330S-060-PM (스테핑 모터 사양)의 대표적인 사양입니다. 피반송물, 척 형상에 따라 다릅니다.
로봇 사양
로봇형식	SVCR3330S-060-PM
피반송물	342mm트레이x2（소형유리기반）
웨이퍼 유지	암 관절부에는 자성 유체 실 사용
기계구조 형식	원통 좌표형	제어축	3축
모터 타입	전 축 2상 펄스모터
동작 범위	제품 중심 도달거리	선회(θ축)	상하(Z축)
동작 범위	1075mm	330deg	60mm
반송 속도(평균)	제(R축)	선회(θ축)	상하(Z축)
반송 속도(평균)	250mm/sec	90deg/sec	30mm/sec
반송 속도(최고)	제(R축)	선회(θ축)	상하(Z축)
반송 속도(최고)	380mm/sec	135deg/sec	45mm/sec
분해능	제(R축)	선회(θ축)	상하(Z축)
분해능	65µm이하	0.0056deg	2.777µm
반복 정밀도	±0.2mm이내
반송 레벨	188.5mm（베이스 설치면에서 위쪽 척 반송 라인）
클린도	자성 유체 실에 의한 대책
내진공도	1.33×10^-6Pa
유틸리티	전원：DC24V±10% 11A
콘트롤러 사양
콘트롤러 형식	C4000系列
인터페이스	RS232C 및 병렬 포트 I/O

외관（표준사양）

가이드

...대기
...진공
...방수
...싱글 암
...트윈 암
...얇은 웨이퍼
...CE 마킹
...JEL표준
...KCs 마킹