반송 소개 동영상
베르누이 척 반송
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휘어진 상태가 있는 웨이퍼, 얇은 웨이퍼에 대응시, 코스트 퍼포먼스가 뛰어난 베르누이 척 입니다. 폐사의 대기 환경용 반송 로봇이 있다면, 어떤 타입의 로봇에게도 탑재 가능합니다. 샘플 웨이퍼에 의한 검증을 실시해, 고객의 임의의 형상으로 각종 사이즈, 휨량, 웨이퍼 두께에 대응한 설계를 실시합니다. 베르누이 척에는 접촉 타입(동영상 위)과 비접촉 타입(동영상 아래)이 있습니다. * 베르누이 척의 구조 에 관한 상세한 내용은 이쪽을 참조하여 주십시오. |
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