SEMICON Japan 2014
동경 빅 사이트서 개최된 세미컴·재팬 2014(기간12/3∼5)은, 성황리에 무사히 종료했습니다. 바쁘신 중에도 불구하고, 당사 부스를 방문해 주신분께 이 자리를 빌어 깊이 감사의 말씀을 드립니다.
Date: 2014/12/3
회기: 2014년 12월 03일～05일
회장: 동경 빅 사이트（Tokyo Big Sight）
본사부스번호: 동 전시동 4홀 4182
출전제품안내
웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템
웨이퍼 컨테이너 안에 있는 박막 웨이퍼를 안전하고, 확실하게 반송하는 것을 실현하였습니다.
로거시스템
반송물 파손 등, 에러 발생시의 검증을 실현했습니다.
5매 일괄 가변척 탑재 로봇
세로형 로(爐)등의 피치가 다른 카셋트에 대한 고속 반송을 실현했습니다.
2인치 반송 시스템
반송부, 진공 트랜스퍼 챔버의 소형화에 기여합니다.
배양접시 반송 로봇
의료, 바이오 관련 시설등의 무균실이나 사람이 들어갈 수 없는 환경하에서의 반송의 자동화를 제안합니다.