제7회 차세대조명기술 전시회 안내
동경 빅 사이트에서 개최된 제7회 차세대조명기술 전시회 (개최일자:01월 15일～17일)은, 성황리에 무사히 종료했습니다.
바쁘신 중에도 불구하고, 당사 부스를 방문해 주신분께 이 자리를 빌어 깊이 감사의 말씀을 드립니다.
회기: 2015년 01월 14일～16일
회장: 동경 빅 사이트 (BIG SIGHT)
부스 번호: 동 전시동 동쪽47-4
Date: 2015/01/15
출전제품안내
웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템
웨이퍼 컨테이너 안에 있는 박막 웨이퍼를 안전하고, 확실하게 반송하는 것을 실현하였습니다.
로거시스템
반송물 파손 등, 에러 발생시의 검증을 실현했습니다.
2인치 반송 시스템
반송부, 진공 트랜스퍼 챔버의 소형화에 기여합니다.
탁상용 로더시스템
2, 3 인치, 100 mm글라스, 사파이어, SiC, GaN, 등의 웨이퍼에 대응.
휨, 얇은 웨이퍼 대응 베르누이 척, 베르누이 핀셋
Low cost & 고객사양 설계의 베르누이 척.