SEMICON China 2015
SEMICON China 2015 (기간03/17～03/18)은 성황리에 종료되었습니다.
바쁘신 중에도 불구하고, 당사 부스를 방문해 주신분께 이 자리를 빌어 깊이 감사의 말씀을 드립니다.
회기: 2015년 03월 17일～19일
회장: Shanghai New International Expo Centre (SNIEC), Shanghai
폐사: 5106
Date: 2015/03/17
参展产品的介绍
2인치 반송 시스템
반송부, 진공 트랜스퍼 챔버의 소형화에 기여합니다.
로거시스템
반송물 파손 등, 에러 발생시의 검증을 실현했습니다.
웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템
웨이퍼 컨테이너 안에 있는 박막 웨이퍼를 안전하고, 확실하게 반송하는 것을 실현하였습니다.
탁상용 로더시스템
2, 3 인치, 100 mm글라스, 사파이어, SiC, GaN, 등의 웨이퍼에 대응.
300 mm웨이퍼 반송 로봇
주행 축없이 평행으로 배치 된 2 개의 FOUP 카세트 웨이퍼의 반송이 가능합니다. 300mm 웨이퍼 대응의 반도체 제조 장치의 검사 장치 등의 웨이퍼 고속 반송에 적합합니다.