SEMICON Korea 2016
바쁘신 중에도 불구하고, 당사 부스를 방문해 주신분께 이 자리를 빌어 깊이 감사의 말씀을 드립니다.
- 회 기
- 2016년 01월 27일～29일
- 회 장
- Convention and Exhibition Centre (COEX), Seoul
- 폐 사
- No. 2372 (Hall A, 1F)
출전제품안내
승강축 부착 수평 다관절 로봇 (DGCR) (참고 출전)
두 승강축이 별도로 움직이는 것에 의해서, 로더, 언로더가 나뉘어 있는 장치에 높은 스루풋을 실현합니다.
테이프 프레임 반송 로봇
테이프 프레임 반송을 확실하게 반송합니다.
150mm용, 200mm용, 300mm용의 테이프 프레임에 대응합니다.
휨, 얇은 웨이퍼 대응 베르누이 척, 베르누이 핀셋
Low cost & 고객사양 설계의 베르누이 척.