SEMICON China 2016
SEMICON China 2016 은 성황리에 종료되었습니다.
바쁘신 중에도 불구하고, 당사 부스를 방문해 주신분께 이 자리를 빌어 깊이 감사의 말씀을 드립니다.
- 회 기
- 2016년 03월 09일～11일
- 회 장
- Shanghai New International Expo Centre (SNIEC), Shanghai
- 폐 사
- 1505 (Hall N1)
출전제품안내
웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템
웨이퍼 컨테이너, 카셋트 내의 박막 웨이퍼를 고정밀도로 자동반송 합니다.
승강축 부착 수평 다관절 로봇 (DGCR) (참고 출전)
두 승강축이 별도로 움직이는 것에 의해서, 로더, 언로더가 나뉘어 있는 장치에 높은 스루풋을 실현합니다.
테이프 프레임 반송 로봇
테이프 프레임 반송을 확실하게 반송합니다.
150mm용, 200mm용, 300mm용의 테이프 프레임에 대응합니다.
300mm웨이퍼 반송 로봇
주행 축없이 평행으로 배치 된 2 개의 FOUP 카세트 웨이퍼의 반송이 가능합니다.
300mm 웨이퍼 대응의 반도체 제조 장치의 검사 장치 등의 웨이퍼 고속 반송에 적합합니다.
JEL 얼라인 툴(얼라이먼트 조정 소프트웨어)
스스로 간단하게 웨이퍼의 얼라이먼트가 되는 얼라이먼트 조정 소프트웨어.
다운타임의 대폭 절감에 공헌합니다.