SEMICON China 2016
![SEMICON China 2016](img/event2016_04/semic_2016.jpg)
SEMICON China 2016 은 성황리에 종료되었습니다.
바쁘신 중에도 불구하고, 당사 부스를 방문해 주신분께 이 자리를 빌어 깊이 감사의 말씀을 드립니다.
- 회 기
- 2016년 03월 09일~11일
- 회 장
- Shanghai New International Expo Centre (SNIEC), Shanghai
- 폐 사
- 1505 (Hall N1)
![Our booth at SEMICON China 2015](img/event2015_03/booth.jpg)
출전제품안내
웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템
![Automatic wafer transfer system for wafer container](img/event2016_04/item01.jpg)
웨이퍼 컨테이너, 카셋트 내의 박막 웨이퍼를 고정밀도로 자동반송 합니다.
승강축 부착 수평 다관절 로봇 (DGCR) (참고 출전)
![Horizontal and multi-joint type robot with vertical strokes (DGCR)](img/event2016_02/item01.jpg)
두 승강축이 별도로 움직이는 것에 의해서, 로더, 언로더가 나뉘어 있는 장치에 높은 스루풋을 실현합니다.
테이프 프레임 반송 로봇
![Tape frame handling robot](img/event2016_02/item02.jpg)
테이프 프레임 반송을 확실하게 반송합니다.
150mm용, 200mm용, 300mm용의 테이프 프레임에 대응합니다.
300mm웨이퍼 반송 로봇
![Robot for handling 300mm wafer](img/event2012_02/item8s.png)
주행 축없이 평행으로 배치 된 2 개의 FOUP 카세트 웨이퍼의 반송이 가능합니다.
300mm 웨이퍼 대응의 반도체 제조 장치의 검사 장치 등의 웨이퍼 고속 반송에 적합합니다.
JEL 얼라인 툴(얼라이먼트 조정 소프트웨어)
![JEL ALIGN TOOL](img/event2016_04/item05.jpg)
스스로 간단하게 웨이퍼의 얼라이먼트가 되는 얼라이먼트 조정 소프트웨어.
다운타임의 대폭 절감에 공헌합니다.