SEMICON KOREA 2019
바쁘신 중에도 불구하고, 당사 부스를 방문해 주신분께 이 자리를 빌어 깊이 감사의 말씀을 드립니다.
- 회 기
- 2019년 01월 23일～01월 25일
- 회 장
- COEX (Convention and Exhibition Center), Seoul, Korea
- 폐 사
- No. A254
- 출전품 소개
INA booth in SEMICON KOREA 2019
출전품 소개
웨이퍼 반송용 신형 로봇「MTCR」（참고 전시）
반도체 디바이스 미세화 대응을 위한 저진동을 실현.
운반 중량 3kg，5kg의 2종류의 로봇 암을 라인업.보다 미세한 카스타마이즈에 대응.
워페이지 대응 신형 얼라이너「SAL3000HV 시리즈」（참고 전시）
플오토 조정 기능 소프트웨어「JEL얼라인툴」로 다양한 웨이퍼에 대해 자동 최적화한 얼리이맨트를 실현.
웨페이지가 큰 웨이퍼에 대응.