SEMICON CHINA 2019

출전품 소개

프로토스 캐리어 대응 자동 이재 시스템「SSY」

패키지/안 패키지를 1대로 대응
프로토스 캐리어 뚜껑 자동 개폐
프로토스 캐리어 베이스를 가동식으로 하는 것으로 뚜껑 개폐 기구를 간략화하여 오염의 발생을 억제
웨이퍼, 스페이서를 자동 식별

웨이퍼 반송용 신형 로봇「MTCR」（참고 전시）

반도체 디바이스 미세화 대응을 위한 저진동을 실현.
운반 중량 3kg，5kg의 2종류의 로봇 암을 라인업.보다 미세한 카스타마이즈에 대응.

워페이지 대응 신형 얼라이너「SAL3000HV 시리즈」（참고 전시）

플오토 조정 기능 소프트웨어「JEL얼라인툴」로 다양한 웨이퍼에 대해 자동 최적화한 얼리이맨트를 실현.
웨페이지가 큰 웨이퍼에 대응.