SEMICON WEST 2019
바쁘신 중에도 불구하고, 당사 부스를 방문해 주신분께 이 자리를 빌어 깊이 감사의 말씀을 드립니다.
- 회 기
- 2019년 07월 09일～07월 11일
- 회 장
- Moscone Center San Francisco, CA (US)
- 폐 사
- No. 6349
- 출전품 소개
ASUZAC INC. booth in SEMICON WEST 2019
출전품 소개
웨이퍼 반송용 로봇「STCR」
급격한 부하 변동이나 급가속에서도 탈조하지 않는 Closed-loop 제어를 채용하며, 로봇의 신뢰성을 UP 시켰음.
Absolute Encoder를 탑재하며, 현재 위치를 파악, 원점복귀 후 동작에 걸리는 시간을 단축시켰음.
참고 사진
Optical 얼라이너「SAL」
반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응.
실리콘 웨이퍼의 센터링과 노치 위치 결정을 고속, 고정밀도로 실행 가능
참고 사진