크린부스 설치
2016년 3월에 후쿠야마 공장 증축동의 크린룸내에 크린도 클래스 1의 크린부스를 설치했습니다.
당사 기설의 크린부스와 비교하고, 면적비로 1.8배, 용적비로 2.6배가 되어, 시스템등의 비교적 대형 기계의 크린도 측정도 가능해집니다. 또, 탑재하고 있는 필터는 종래형 ULPA 필터(99.999% (0.1～0.2 µm 입자크기)) 에 대해 ULPA+PTFE 필터(99.9999% (0.1 µm 입자크기)) 되어, 보다 깨끗한 환경에서의 측정이 가능합니다.
크린 로봇으로서의 수치를 보다 정확하게 파악해, 보다 품질의 높은 크린 로봇을 제공해 옵니다.
로봇 및 대형 시스템의 파티클 측정을 실시합니다.
후쿠야마공장 크린부스 개요
| 클린도 | Class 1 |
|---|---|
| 면적 | 약 11.6m2 (외형크기: W2895 x L4020 x H3525) |
| 특징 | ULPA + PTFE 필터 (99.9999 % (0.1 µm 입자 크기)) 채용. 공기 순환형. |