반도체용 로봇

300mm 대응 5축 수평다관절형 클린로봇 GTCR5000 시리즈
싱글 암이지만 트윈 척을 탑재하였기 때문에 트윈 암의 기능을 보유
300mm 대응 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

• 암 동작 범위:210mm, 280mm
• 로봇만으로 2FOUP (210mm), 3FOUP(280mm) 각각 대응 가능
• 클린 대책 : 진공 라인에 0.1µm 메시필터를 설치
• 트윈 척 채용으로 웨이퍼 교환 시간 단축
• 싱글 척 사양도 선택 가능
• 장치 레이아웃에 맞추어 베이스 타이프과 플랜지 타이프에서 선택 가능
• 동작 모니터 장비
• 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
• 전축 AC 서보 모터 사용
• S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
• 웨이퍼 유지: 진공 흡착, 패시브 에지, 에지 그립 척
• 척 재질은 CFRP, 알루미늄, 세라믹 등 각종 재질 사용 가능
• 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능