JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot

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반도체용 로봇

GTFR5280(300 mm 웨이퍼 대응)5축 수평다관절형클린로봇

GTFR5280-320-DM

데모

환경/사양

환경/사양

피반송물

모델 명	GTFR5280
사용유체	크린룸 대기
암	싱글 암
도달거리	553mm (제 3관절 중심거리)
승강 거리	320mm
가반 질량	4.0kg (제 3관절 환산)

제품형식 리스트

제품형식		승강 거리
JEL 표준	GTFR5280-320-DM	320mm

데모은GTFR5280-320-DM

표준사양

300mm 대응 5축 수평다관절형 클린로봇
싱글 암이지만 트윈 척을 탑재하였기 때문에 트윈 암의 기능을 보유
300mm 대응 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 EFEM의 웨이퍼 반송에 적용됩니다.
당사 종래 제품인 GTCR하고 비교하면 동작 금지 구역,속도 제한의 영향을 줄이며 사이클 타임 향상

로봇만으로 3FOUP(280mm) 각각 대응 가능
트윈 척 채용으로 웨이퍼 교환 시간 단축
전축 AC 서보 모터 사용, 배터리 레스
웨이퍼 유지: 진공 흡착, 패시브 에지, 에지 그립 척
피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능

표준사양

본 사양은 당사 표준 척(흡착 타입) 장착시의 사양의 일례입니다
로봇 사양
로봇형식	GTFR5280-320-DM
피반송물	～300mm 웨이퍼
웨이퍼 유지	진공흡착
기계구조 형식	수평다관절형	제어축	5축
모터 타입	전 축 AC서보모터, 배터리 레스
동작 범위	제품 중심 도달거리	상하(Z축)
동작 범위	893mm	320mm
반송 속도(평균)	제(R축)	상하(Z축)
반송 속도(평균)	900mm/sec	320mm/sec
반송 속도(최고)	제(R축)	상하(Z축)
반송 속도(최고)	1,500mm/sec	540mm/sec
반복 정밀도	±0.05mm이내
클린도	ISO Class 1
유틸리티	유틸리티：전원 AC200V±10% 2kVA 진공：-75kPa이상 (흡착 척)
질량	로봇 약80kg

외관（표준사양）

가이드

...대기
...진공
...방수
...싱글 암
...트윈 암
...얇은 웨이퍼
...CE 마킹
...JEL표준
...KCs 마킹