얼라이너
SAL20C1（에지 그립 방식）웨이퍼 얼라이너
데모 |
환경/사양피반송물
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제품특징
반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응.
에지 그립 방식을 채용하였기 때문에 웨이퍼에 대한 접촉을 최소한으로 가능.
- 에지 그립 방식으로 실리콘 웨이퍼의 센터링과 노치 위치 결정을 고속, 고정밀도로 실행 가능
- 마찰 등으로 인한 이물질 부착을 억제하는 설계
- 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
표준사양
| 피반송물 | 300mm 실리콘 웨이퍼 |
|---|---|
| 위치 결정시간 | 노치 탐색 : 2.5sec (다시 잡기 동작이 없을 경우) |
| 위치 결정 정도 | 센터링：±0.3mm이내 노치 위치：±0.3deg이내 |
| 센서 | 투과식 LED 센서 |
| 클린도 | 0.1µm/cf Class 1 (구동부 배기시) |
| 구동 방식 | 2상 스테핑 모터 2축 사용 모터 드라이버, 컨트롤러 내장 |
| 유틸리티 | 전원：DC24V±10% 2A |
| 외관 |
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가이드
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