얼라이너
신형 얼라이너 "SAL3000HV 시리즈" 풀 오토 조정 지원 버전
SAL38C3HV (여러가지 웨이퍼 대응 얼라이너)웨이퍼 얼라이너
产品视频 |
환경 사양피반송물
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제품특징
2016 년 12 월 14 일 출시 얼라이너 "SAL3000HV 시리즈" 에서 풀 오토 조정 지원 버전 JEL ALIGN TOOL 이 포함되어 있습니다.
고객이 직접 얼라이먼트 조정을 할 수 있기 때문에 업체에 문의 및 실제 제품을 보내는 수고와 시간을 크게 줄일 수 있습니다.
*신형 얼라이너 "SAL3000HV 시리즈" 풀 오토 조정 지원 버전(*).
(*)이 소프트웨어는 조정 후의 위치 결정 정밀도를 보증하는 것은 아닙니다.
그렇기 때문에, 조정 후의 위치 결정 정밀도에 관해서는, 고객 소유의 기기로 확인을 부탁드립니다.
200～300 mm웨이퍼용 각종 웨이퍼 재질에 대응한 신형 얼라이너.
- 실리콘 웨이퍼, 실리콘 웨이퍼 BG테이프(유백색) 부착, 투명, 반투명 웨이퍼 등 웨이퍼 재질에 영향을 받지 않고 얼라이먼트 가능
- 독자 개발의 이미지 센서를 사용해, 모터 드라이버, 콘트롤러를 본체에 내장
- 스핀들지름, 형상, 재질의 변경에도 대응 가능
- 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
- SEMI 규격에 없는 형상의 놋치, 오리진 플랫, 마크 등의 대응도 가능
- Pick-up/Place 동작이 가능한 Z축 부착도 제작 가능
표준사양
| 피반송물 | SEMI 200～300 mm 웨이퍼 (투명, 반투명, 실리콘) (그 외 특수한 워크, 형상, 재질에도 다양하게 대응 하겠습니다) |
|---|---|
| 위치 결정시간 | 3초(Pick-up/Place 시간 제외한다) |
| 위치 결정 정도 | 센터링: ±0.1 mm 이내 플랫/노치 위치: ±0.1deg 이내 |
| 센서 | LED 조명 + 첨부이미지 센서 유닛에 의한 웨이퍼 엣지 검출 |
| 사이즈 변경 | 커맨드 제어에 의한 변경 또는 통신 |
| 클린도 | ISO Class 2 (구동부 배기시) |
| 구동 방식 | 2상 펄스모터 (3축)(모터 드라이버를 본체에 내장) |
| 유틸리티 | 전원: DC24V±10% 3A 진공: -53 kPa 이상 |
| 외관 |
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가이드
- ...대기
- ...진공
- ...얇은 웨이퍼
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- ...JEL표준
- ...KCs 마킹