반도체용 로봇
SCR3100S（소경 웨이퍼）4축원통 좌표형 크린 로봇
데모 |
환경/사양피반송물
제품형식 리스트
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제품특징
슈퍼 크린룸용 3축원통 좌표형 크린 로봇 SCR3100S시리즈.
풋프린트 소형화를 실현함으로써 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 소경 웨이퍼 반송에 적합하며 장치 레이아웃의 소형화가 가능합니다.
- 클린 대책 : 진공 라인에 0.1µm 메시필터를 설치
- 장치 레이아웃에 맞추어 베이스 타이프과 플랜지 타이프에서 선택 가능
- 동작 모니터 장비
- 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
- 전축 2상 펄스 모터 사용
- S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
- 웨이퍼 유지: 진공 흡착, 패시브 에지, 에지 그립 척
- 척 재질은 CFRP, 알루미늄, 세라믹 등 각종 재질 사용 가능
- 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능
표준사양
| 로봇 사양 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 로봇형식 | SCR3100S-200-PM | |||
| 리스트 블록 | SARS00169 | 척 | 3D-02535 | |
| 피반송물 | ～150mm웨이퍼 | |||
| 웨이퍼 유지 | 진공흡착 | |||
| 기계구조 형식 | 원통 좌표형 | 제어축 | 3축 | |
| 모터 타입 | 스테퍼 모터 | |||
| 동작 범위 | 제품 중심 도달거리 | 선회(θ축) | 상하(Z축) | |
| 397.7mm | 340deg | 200mm | ||
| 반송 속도(평균) | 제(R축) | 선회(θ축) | 상하(Z축) | |
| 330mm/sec | 280deg/sec | 130mm/sec | ||
| 반송 속도(최고) | 제(R축) | 선회(θ축) | 상하(Z축) | |
| 500mm/sec | 480deg/sec | 170mm/sec | ||
| 반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | |||
| 클린도 | ISO Class 2 (구동부 배기시) | |||
| 유틸리티 | 전원：DC24V±10% 8A 진공：-53kPa이상 | |||
| 콘트롤러 사양 | ||||
| 콘트롤러 형식 | C4000 | |||
| 인터페이스 | RS232C 및 병렬 포트 I/O | |||
| 외관（표준사양） |
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