반도체용 로봇
SCR3160CSN (Closed-loop제어)3축원통 좌표형 크린 로봇
데모
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환경/사양
피반송물
| 제품명 | SCR3160CSN |
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| 사용유체 | 크린룸 대기 |
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| 암 | 싱글 암 |
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| 동작범위 | 340mm (암 제3관절 중심) |
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| 승강 거리 | 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm |
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| 가반 질량 | 3kg (제 3관절 환산) |
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제품형식 리스트
| 제품형식 | 승강 거리 |
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| SCR3160CSN-200-CM | 200mm |
| SCR3160CSN-300-CM | 300mm |
| SCR3160CSN-400-CM | 400mm |
| SCR3160CSN-450-CM | 450mm |
| SCR3160CSN-500-CM | 500mm |
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특징
크로즈드 루프 제어 사양의 로봇에게, 유사다축 사양 (Path planning of closed-loop control) 을 라인업 하였습니다.
주행축 없이 병렬 배치된 챔버 스테이지에 반송할 수 있어 레이아웃의 자유도가 높고, 비용절감에 기여합니다.
*유사다축 사양의 반송 동영상은 여기를 참조 하십시오.
슈퍼 크린룸용 3축원통 좌표형 크린 로봇.
저가격, 고속 반송, 탈조레스를 실현했다〜300 mm웨이퍼 대응 신형 싱글 암 로봇.
- 급격한 부하 변동이나 급가속에서도 탈조하지 않는 Closed-loop 제어를 채용해, 로봇의 신뢰성을 더욱 향상
- Absolute Encoder를 탑재하고 있는 것으로, 현재의 위치를 파악, 원점복귀 후 동작에 걸리는 시간을 단축
- 배터리 불필요한 기계식 다회전 Absolute 센서를 탑재
- 종래의 기계와 호환성(설치 호환, 성능 호환)이 있어, 교체가 가능
- 고강성・암 제 3 관절 환산 3 kg(리스트 블록, 척, 워크 포함한다)
- 암 동작 범위: 100mm, 130mm, 160mm, 200mm
- 장치 레이아웃에 맞추어 베이스 타이프과 플랜지 타이프에서 선택 가능
- 베르누이 척의 탑재 가능(옵션)
표준사양
본 사양은 당사 표준 척(흡착 타입) 장착시의 사양의 일례입니다
| 제품형식 |
SCR3160CSN-300-CM |
| 피반송물 |
～300mm 웨이퍼 (그 외 특수한 워크, 형상, 재질에도 다양하게 대응 하겠습니다） |
| 웨이퍼 유지 |
진공흡착 |
| 기계구조 형식 |
원통 좌표형 |
제어축 |
3축 |
| 모터 타입 |
스테퍼 모터 (Closed-loop제어) |
| 동작 범위 |
제품 중심 도달거리 |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 552.7mm |
340deg |
300mm |
| 반송 속도(평균) |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 610mm/sec |
340deg/sec |
250mm/sec |
| 반송 속도(최고)
|
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 1220mm/sec |
500deg/sec |
320mm/sec |
| 분해능 |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 10.0µm 이하 |
0.0015deg |
2.0µm |
| 반복 정밀도 |
±0.1mm 이내 |
| 클린도 |
ISO Class 2 (구동부 배기시) |
| 유틸리티 |
전원: DC24V±10% 10A 진공: -53kPa 이상 |
| 콘트롤러 형식 |
C4000B 시리즈 |
| 인터페이스 |
RS232C 및 병렬 포트 I/O |
제품 일람
