시스템
SORTER SYSTEM (4-port facing type with 400 wafers/h throughput)
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환경/사양피반송물
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제품특징
- SEMI Standard에 준거(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
- 얼라이너에 버퍼 기능을 설치하여 웨이퍼 교체를 가능하게 하였기 때문에 고처리율을 실현하였습니다(400 장/h).
- 반송 로봇은 패스 플래닝 방식을 채용하여 주행축 없이 병렬로 배치된 카세트에 대해서도 사용 가능합니다.
- 반송 로봇은 영역을 제어하기 때문에 신속하고 원활하게 반송할 수 있습니다.
- ID 리더를 탑재하여 웨이퍼의 ID 읽기가 가능합니다(앞뒤 대응은 옵션)
표준사양
| Carrier | 300mm FOUP (25 웨이퍼) 준거: SEMI E47.1, E62 | |||
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| 피반송물 | 300mm 실리콘 웨이퍼 (두께: 775µm) | |||
| Throughput | 400 장/h | |||
| 클린도 | ISO Class 2 (FFU 탑재) | |||
| 외형치수 | W 1756mm x D 1200mm x H 1901mm | |||
| 질량 | 약 600kg | |||
| 유틸리티 | 전원: 단상 AC200V±15% 20A | |||
| Dry air: 0.7MPa-0.4MPa | ||||
| 진공: -60kPa 이상 | ||||
| 외관（표준사양） |
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가이드
- ...대기
- ...진공
- ...방수
- ...싱글 암
- ...트윈 암
- ...얇은 웨이퍼
- ...CE 마킹
- ...JEL표준
- ...KCs 마킹