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반도체용 로봇

SSCR3090S（소경 웨이퍼）3축원통 좌표형 크린 로봇

SSCR3090S-PM

데모

환경/사양

피반송물

모델 명	SSCR3090S
사용유체	크린룸 대기
암	싱글 암
도달거리	175mm (제 3관절 중심거리)
승강 거리	150mm
가반 질량	0.1kg以下(암만)(제 3관절 환산)

제품형식 리스트

제품형식		승강 거리
SSCR3090S-150-PM		150mm

사진과SSCR3090S-PM, 데모은SSCR3090S-PM, SAL3241GR

제품특징

암 동작 범위：90mm
동작 모니터 장비
제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
전축 2상 펄스 모터 사용
S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
웨이퍼 유지: 진공 흡착, 패시브 에지
척 재질은 CFRP, 알루미늄, 세라믹 등 각종 재질 사용 가능
피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능

표준사양

본 사양은 당사 표준 척(흡착 타입) 장착시의 사양의 일례입니다
로봇 사양
로봇형식	SSCR3090S-PM
피반송물	～100mm웨이퍼
웨이퍼 유지	진공흡착
기계구조 형식	원통 좌표형	제어축	3축
모터 타입	전축 펄스 모터 사용
동작 범위	제품 중심 도달거리	선회(θ축)	상하(Z축)
동작 범위	300mm(Link Arm사양)	370deg	150mm
반송 속도(평균)	제(R축)	선회(θ축)	상하(Z축)
반송 속도(평균)	220mm/sec	180deg/sec	120mm/sec
반송 속도(최고)	제(R축)	선회(θ축)	상하(Z축)
반송 속도(최고)	330mm/sec	280deg/sec	160mm/sec
반복 정밀도	±0.1mm 이내
클린도	ISO Class 2 (구동부 배기시)
유틸리티	전원：DC24V±10% 4A 진공：-53kPa 이상
콘트롤러 사양
콘트롤러 형식	C4301시리즈
인터페이스	RS232C 및 병렬 포트 I/O

외관（표준사양）

가이드

...대기
...진공
...방수
...싱글 암
...트윈 암
...얇은 웨이퍼
...CE 마킹
...JEL표준
...KCs 마킹