반도체용 로봇
STWCR4160 (방수용）4축원통 좌표형 크린 로봇
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환경/사양
피반송물
| 모델 명 | STWCR4160 |
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| 사용유체 | 크린룸 대기 |
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| 암 | 트윈 암 |
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| 도달거리 | 315 mm (제 3관절 중심거리) |
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| 승강 거리 | 300 mm |
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| 가반 질량 | 3 kg이하 (제 3관절 환산) |
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제품형식 리스트
| 제품형식 | 승강 거리 |
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| STWCR4160-300-PM | 300 mm |
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제품특징
방수 대응 4축 원통 좌표형 로봇 STWCR4160 시리즈.
알칼리 미스트 분위기중에서의 웨이퍼 반송에 적합합니다.
- 암 동작 범위：160 mm, 200 mm
- 암 부분은 테플론 코팅으로 내식성을 확보
- 암 관절부 방수 구조에 V 실 사용
- 부품 접합부는 Viton(불소고무) 패킹으로 밀봉
- Z축부 방수 구조에 자바라 사용
- 트윈 암 채용에 의해, 웨이퍼 교환 시간의 단축
- 동작 모니터 장비
- 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
- 전축 2상 펄스 모터 사용
- S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
- 웨이퍼 유지: 진공 흡착, 패시브 에지, 에지 그립 척
- 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능
표준사양
은 STWCR4160-300-PM 에지 그립 척 타이프 사양입니다.
| 로봇형식 |
STWCR4160-300-PM |
| 피반송물 |
～300 mm 웨이퍼 |
| 웨이퍼 유지 |
진공흡착 |
| 기계구조 형식 |
원통 좌표형 |
제어축 |
4축 |
| 모터 타입 |
2상 펄스모터 |
| 동작 범위 |
암 3관절 중심거리 |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 315 mm |
340 deg |
300 mm |
| 반송 속도(평균) |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 280 mm/sec |
90 deg/sec |
90 mm/sec |
| 반송 속도(최고) |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 550 mm/sec |
120 deg/sec |
120 mm/sec |
| 분해능 |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 126 µm이하 |
0.0045 deg |
6.25 µm이하 |
| 반복 정밀도 |
±0.2mm이내 |
| 유틸리티 |
전원：DC24V±10% 11A 에어：0.15 MPa이하 |
| 콘트롤러 형식 |
C4000시리즈 |
| 인터페이스 |
RS232C 및 병렬 포트 I/O |
