반도체용 로봇
SWCR3160CS (방수용）3축원통 좌표형 크린 로봇
데모
|
환경/사양
피반송물
| 모델 명 | SWCR3160CS |
|---|
| 사용유체 | 크린룸 대기 |
|---|
| 암 | 싱글 암 |
|---|
| 도달거리 | 312mm (제 3관절 중심거리) |
|---|
| 승강 거리 | 200mm / 300mm |
|---|
| 가반 질량 | 3kg이하 (제 3관절 환산) |
|---|
제품형식 리스트
| 제품형식 | 승강 거리 |
|---|
| SWCR3160CS-200-PM | 200mm |
| SWCR3160CS-300-PM | 300mm |
- 사진과 데모은 SWCR3160CS-200-PM
|
제품특징
방수 대응 3축 원통 좌표형 로봇 SWCR 시리즈（300mm 웨이퍼 대응 반전+에지 그립 기능 첨부）.
보호 등급 IP64 LSI 제조 공정에서 산/알칼리 분위기중에서의 웨이퍼 반송에 적합합니다.
- 암 부분은 테플론 코팅으로 내식성을 확보
- 암 관절부 방수 구조에 V 실 사용
- 부품 접합부는 Viton(불소고무) 패킹으로 밀봉
- Z축부 방수 구조에 자바라 사용
- 동작 모니터 장비
- 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
- 전축 2상 펄스 모터 사용
- S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
- 웨이퍼 유지: 진공 흡착, 패시브 에지, 에지 그립 척
- 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능
표준사양
은 SWCR 에지 그립 척 타이프 사양입니다.
| 피반송물 |
～300mm 웨이퍼 |
| 기계구조 형식 |
원통 좌표형 |
제어축 |
3축 |
| 모터 타입 |
2상 펄스모터 |
| 동작 범위 |
암 3관절 중심거리 |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 312mm |
340deg |
300mm |
| 반송 속도(평균) |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 250mm/sec |
120deg/sec |
70mm/sec |
| 반송 속도(최고) |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 500mm/sec |
160deg/sec |
85mm/sec |
| 분해능 |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 49µm이하 |
0.0214deg |
12.5µm이하 |
| 반송 레벨 |
255mm (베이스 설치면에서 위쪽 척 반송 라인) |
| 반복 정밀도 |
±0.2mm이내 |
| 유틸리티 |
전원：DC24V±10% 15A 에어：0.15MPa |
| 콘트롤러 형식 |
C4000시리즈 |
| 인터페이스 |
RS232C 및 병렬 포트 I/O |
