반도체 업계에 있어서의 고집적화, 고미세화, 고신뢰성, 고품질화는 더욱 더 진행되고 있어, 반도체 제품을 생산하는데 있어서 먼지나 이물질에 대한 청정도의 향상도 더욱 요구가 되었습니다.
JEL은 이러한 요구에 대한 대처로서 크린룸 내에서는 작업자 전원이 크린복・마스크・장갑을 착용해서, 제품에 대해서 먼지나 이물질 등이 부착되지 않게 주위를 기울여 작업을 진행하고 있습니다.
저희 회사는, 본사에 클래스 10,000의 크린룸 3실과 클래스 100,000의 크린룸1실을 설치, 사바공장에 클래스 10,000의 크린룸 2실을 설치하여, 모두 이 가운데서 생산하고 있습니다.
또, 본사의 클래스 10,000의 크린룸 1실 안에 클래스 1의 크린부스가 설치되어 있습니다.
또한, 청정도를 높이는 활동의 일환으로서 크린룸내 뿐만 아니라, 사내의 각 부서 룸, 회사 주위에 대해서도 담당자를 결정 매일 청소를 실시하고 있습니다.
이렇게 하여, JEL에서는 전사를 통틀어 청정도의 향상에 노력하고 있습니다.
크린룸의 공기의 깨끗함은 규정 규격으로 정해진 청정도로 나타납니다.
JEL의 클래스 10,000이라는 청정도 지수는, 미국의 FED 규격을 사용하고 있어, 이것은 1입방 피트(=1 ft3)(1변이 약 30.5 cm)의 공기 중에 0.5μm이상의 미립자(티끌, 먼지 등)가 약1만개 이하인 것을 나타냅니다.
미크론(=μm)이라는 단위는 상상하기 어렵습니다만, 인간의 머리카락의 평균적인 폭이 약 50-70μm, 꽃가루의 크기는 약 2~10μm로, 0.5μm(=0. 0005 mm)는 육안으로는 절대 보이지 않는 크기라는 것을 알 수 있습니다.
JEL에서는, 이 청정도를 항상 유지하기 위해서, HEPA 필터(99.97%)를 설치해, 1시간에 규정의 환기를 실시하고 있습니다. (예:후쿠야마 공장 크린룸 1, 크린룸 2의 환기 횟수:25회/h)
클린복, 마스크, 장갑의
착용
제조 현장의 작업자 에게는, 크린복과 마스크, 장갑의 착용이 의무화, 일관된 깨끗한 제조 라인을 가동시키고 있습니다. 한 사람,한 사람의 착용 의식을 높임으로써, 작업 환경의 청정화에 최선을 다하고 있습니다.
에어 샤워에서 청정화 한
후에 입실
크린룸에 입실은, 에어샤워를 철저히 합니다. 에어 샤워를 하고 입실해, 작업자의 옷 등에 붙은 모발이나 섬세한 티끌등도 크린룸에 입실하기 전에 제거하고 있습니다.
크린룸 내에서
1차 포장을 실시
제품의 검사 후, 제품에 먼지가 묻지 않도록, 크린룸 내에서 1차 포장을 실시합니다. 높은 밀봉성으로 바깥 공기와 제품을 차단합니다.
로봇 및 대형 시스템의 파티클 측정을 실시합니다
크린부스（면적: 약 11.6m2)
(외형크기: W2895 x L4020 x H3525))
ULPA + PTFE 필터 (99.9999 % (0.1 µm 입자 크기)) 채용.