JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot

Semicon Japan 2022 에서 전시된 제품 비디오 소개

JEL의Semicon Japan 2022 출전기 라인업을 게재하고 있으니, 꼭 한번 봐 주세요.
출전기 또한 당사 제품에 대한 상세 내용은 문의해 주세요.

φ300 mm 대응 TAIKO™ 웨이퍼 반송 MTCR

EFEM,반도체 제조 장비내, 검사 장비등 웨이퍼를 고속 반송이 가능합니다.
TAIKO 웨이퍼 반송은 링부분에서 접촉,보지하고,디바이스면의 접촉을 억제합니다.


φ300 mm 대응 TAIKO™ 웨이퍼 대응 SAL

반도체 제조 장비내, 검사 장비내 등, 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응합니다.
에지글립 방식을 채용하고, 웨이퍼 링 부분을 보지하고 위치 결정합니다.

TAIKO™ 는 DISCO Corporation의 상표 또는 등록상표입니다.



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