SEMICON JAPAN 2023 에서 전시된 제품 비디오 소개
JEL의SEMICON JAPAN 2023 출전기 라인업을 게재하고 있으니, 꼭 한번 봐 주세요.
출전기 또한 당사 제품에 대한 상세 내용은 문의해 주세요.
φ200㎜ SMIF POD대응 시스템 SSY
SMIF 오프너로 POD 개폐 가능.
5축 수평 다관절 로봇을 답재하고,3 Port까지 대응 가능.
TAIKO™, 얇은 웨이퍼 반송 로봇 STCR
보지 방법의 선택성 UP.
다양한 워크 반송에 대응 가능.
대유량,다배선화,강성 UP을 통해,대유량향 베르누이,각종 센서 답재등에 대응
TAIKO™ 는 DISCO Corporation의 상표 또는 등록상표입니다.
웨이퍼 얼라이맨트 대응 진공 반송 로봇 STVCR
외부 얼라이맨트 센서로 웨이퍼 중심 위치 보정 상태로 반송 가능.
트윈 암 채용으로 워크 교환 시간 단축
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