시스템
SSY-10010웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템
데모 |
환경/사양피반송물
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제품특징
프로토스 캐리어내의 얇은 웨이퍼를 안전, 확실하게 반송.
- 웨이퍼 컨테이너,카셋트 사이의 손상 없이 자동이재
- 베르누이 척을 탑재하여, 박막 웨이퍼도 대응
- 웨이퍼 컨테이너에 있는 웨이퍼와 컨테이너 스페이서(층 간지)를 자동 식별
- 워크의 높이도 자동인식
- 복수 카셋트 및 각 인치 사이즈에도 고객사양에 대응
- 웨이퍼 컨테이너 뚜껑이 자동 개폐 기구 탑재(특허 출원 중)
- Achilles Corporation 제품 웨이퍼 컨테이너 대응
- 파인 필터 유니트(HEPA 사양)를 배치하여, 클린도를 확보
- 컬러 센서 탑재로, 색이 다른 컨테이너 스페이서(층 간지)도 검출 가능
표준사양
| 피반송물 | 200 mm 실리콘 웨이퍼, 200 mm 스페이서 | |||
|---|---|---|---|---|
| 대응 카셋트 | 200 mm 카셋트, 200 mm 웨이퍼 컨테이너 | |||
| 클린도 | ISO Class 2 | |||
| 외형치수 | 1100 (W) x 980 (D) x 1805 (H) | |||
| 대응 카셋트 | 전원: AC200V±10% 크린에어: 0.5 MPa 250 NL/min 이상 | |||
| 질량 | 600 kg | |||
| 외관도(표준형식) |
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가이드
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