SEMICON JAPAN 2021 에서 전시된 제품 비디오 소개
JEL의SEMICON JAPAN 2021 HYBRID 출전기 라인업을 게재하고 있으니, 꼭 한번 봐 주세요.
출전기 또한 당사 제품에 대한 상세 내용은 문의해 주세요.
신제품
φ300 mm 대응 GTFREFEM의 웨이퍼 반송에 적용됩니다.
당사 종래 제품인 GTCR하고 비교하면 동작 금지 구역,속도 제한의 영향을 줄이며 사이클 타임 향상
φ300 mm 대응 신형 저두 SAL-HV
실리콘 웨이퍼.
실리콘 웨이퍼 BG페이프 (유백색)부착,투명,반투명 웨이퍼등 웨이퍼 재질에 영향을 받지 않고 오리엔탈플랫・노치를 고속,고정밀도로 위치 결정.
φ300 mm 25장 배치 반송 로봇 KHR
25장 웨이퍼를 일괄 이재 가능.
일괄 반송으로 이재 시간을 많은 단축이 가능.
φ150、200 mm 화합물 대응 STCR
EFEM,반도체제조장비내,검사장비에서 웨이퍼 고속 반송이 가능합니다.
φ150、200 mm 화합물 대응 SAL
에지그립 방식으로 웨이퍼 뒷면 접촉 없음.2사이즈 겸용 가능.
φ300 mm용 테이프프레임 반송 MTCR
전축 AC서보모터를 사용하고,웨이퍼 이외에도 티레이,소형 유리 기판등 반송 가능합니다.
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