J테크센터
J-Tech 센터(도쿄의 쇼룸)에서는 주력 제품을 중심으로 한 로봇 및 베르누이 척의 전시를 실시하고 있습니다.
사전에 연락해 주시면, 손님의 Wafer를 사용하여, 동작 확인을 실시하는 것도 가능합니다.
방문을 위하여 아래의 주소로 문의 부탁 드립니다.
J Tech Center 이용안내
- 베르누이 척 흡착확인
베르누이 척의 흡착확인이 가능한 사이즈는 150mm, 200mm, 300mm입니다.
- 얼라인먼트 정도 확인
측정치구를 사용하여 고객의 웨이퍼를 사용한 얼라인먼트의 정도측정이 가능 합니다.
- 로봇 조작 교육
J Tech Center 는 로봇의 실제품을
사용하여 교육이 가능 합니다.
창구
- 창구
- JEL Corporation 본사
- 전화번호
- +81-84-932-6500
- FAX번호
- +81-84-932-6501
- E메일
전시제품안내
- φ300 mm용 테이프프레임 반송 MTCR: MTCR4160-300-AM
- 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다. 전축 AC 서보에 의한 고속 반송 기존 MTHR과 비교해 비용을 대폭 절감할 수 있습니다.
- φ150、200 mm 화합물 대응 STCR: STCR4160S-300-PM
- 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다. 2개의 암으로 단시간에 웨이퍼 교환 가능.
- 웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템: SSY-10010
- 프로토스 캐리어내의 얇은 웨이퍼를 안전, 확실하게 반송. 웨이퍼 컨테이너 뚜껑이 자동 개폐 기구 탑재(특허 출원 중)
- 300 mm웨이퍼 반송 트윈 로봇: STCR4160SN-300-CM (Closed-loop제어)
- 슈퍼 크린룸용 3축원통 좌표형 크린 로봇.
- 300 mm웨이퍼 반송 수평다관절형 싱글 암 로봇: GCR4210-300-PM
- 슈퍼클린룸용 다축 타이프, 4축 수평다관절형 클린로봇 GCR4000-PM 시리즈
300mm 대응 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.
- 박막150mm, 200mm 웨이퍼 대응 트윈암 반전기구 부착 반송 로봇/얼라이너: STCR4160S-300-PM/SAL3481
- 박막 웨이퍼의 반송을, JEL제품 베르누이 Chuck으로 제안합니다.150㎜、200㎜ 박막 웨이퍼를, 트윈암 반전 기구의 로봇으로 반송합니다. 또, 150㎜、200㎜ 겸용의 박막용 얼라이너도 함께 제안합니다. 양쪽 암 모두 반전기구 부착으로 150㎜、200㎜를 동시에 반송합니다.
- 박막 2, 3 인치, 100～300mm 웨이퍼 대응 얼라이너: SAL3261HV
- 2, 3 인치, 100～150mm웨이퍼용 각종 웨이퍼 재질에 대응한 신형 얼라이너.
- 150mm웨이퍼 반송 에지 그립 방식 얼라이너: SAL2061
- 에지 그립 방식으로 실리콘 웨이퍼의 센터링과 노치 위치 결정을 고속, 고정밀도로 실행 가능.
- 탁상용 로더시스템: SSY-10000
- 2, 3 인치, 100 mm글라스, 사파이어, SiC, GaN, 등의 웨이퍼에 대응.
- 휨, 얇은 웨이퍼 대응 베르누이 척
- Low cost & 고객사양 설계의 베르누이 척.